日本东索、昭和电工ITO靶材的研制

• 作者: 卢伟白
• 来源期刊: 株冶科技
• 学科: 工学
• 关键词: 研制 ITO靶材 烧结氛围气 烧结用容器 简烧 烧结温度
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 页码范围: 6-9
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.21

摘要

介绍了东索、昭和电工研制ITO靶材的主要情况，归纳了它们不同的注重点。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢伟白	湖南株冶火炬金属股份有限公司机动工程部	2	0	0.0	0.0