刻蚀衍射光栅像差特性分析

• 作者: 何赛灵 宋军 文泓桥 梅维泉
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 刻蚀衍射光栅(EDG) 波分复用 波像差 球差 彗差 串扰 耦合效率
• 年，卷（期）: 2003,（10）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1103-1108
• 页数: 6页
• 分类号: TN814.6
• 字数: 2880字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.10.020

摘要

对作为波分复用关键器件之一的刻蚀衍射光栅(EDG)的像差特性提出了一种简单方便的计算方法,分析了像差对刻蚀衍射光栅频谱响应的影响.理论推导了基于基尔霍夫衍射、角谱衍射以及快速傅里叶变换等方法.最终证明彗差会造成谱形失称,明显降低耦合效率;而球差则会明显地增加串扰.并指出当像差存在时通过输出端加taper结构,并不能显著改善器件的串扰特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何赛灵	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室光及电磁波研究中心	100	1000	18.0	26.0
2	宋军	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室光及电磁波研究中心	9	34	4.0	5.0
3	文泓桥	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室光及电磁波研究中心	10	68	5.0	8.0
4	梅维泉	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室光及电磁波研究中心	3	5	2.0	2.0