基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
报道了退火对电子回旋共振(ECR)辅助脉冲激光溅射方法制备的CNx薄膜样品光学性质的影响.X射线衍射(XRD)结果显示CNx薄膜基本为无定形结构,但存在微量的多晶结构.拉曼散射谱显示所制备的CNx薄膜样品主要由CN、少量的C-C和微量的CN组成.随着退火温度的升高,拉曼散射谱不但在1357cm-1附近出现了一个新峰(新峰对应无序的CN键),而且CN和CN的相对含量比随着退火温度的提高大致呈先减小后增大再减小的趋势,从而证实在退火过程中部分N原子发生了迁移.椭偏仪所测量的CNx薄膜的光学常数表明退火温度对ε1、ε2、n、k的大小和谱线的形状均产生了显著影响.结合拉曼散射谱可断定其原因为退火改变了CNx薄膜样品的内部结构和键结构.实验中得到的ε1、ε2、n、k随光子能量的变化关系可用洛伦兹色散理论得到很好解释.
推荐文章
退火对二氧化钛薄膜光学性能的影响
TiO2薄膜
溶胶-凝胶法
DTA分析
透射谱
实验条件对a-CNx∶H薄膜光学性质影响的研究进展
射频功率
基片
刻蚀
退火
实验条件
a-CNx∶H薄膜
光学性质
表面覆盖退火对ZnO薄膜光学性质的影响
氧化锌
退火
光学性质
激子
溅射气压对磁控溅射TiN薄膜光学性能的影响
氮化钛薄膜
磁控溅射
溅射气压
光学性能
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 退火对CNx薄膜光学性质的影响
来源期刊 红外与毫米波学报 学科 工学
关键词 椭偏光谱 电子回旋共振 反常色散 拉曼散射
年,卷(期) 2003,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 213-216
页数 4页 分类号 TN2
字数 3136字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:1001-9014.2003.03.010
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 王松有 复旦大学先进光子学器件和材料国家重点实验室 26 104 5.0 9.0
2 吴嘉达 复旦大学先进光子学器件和材料国家重点实验室 7 68 4.0 7.0
3 张晋敏 贵州大学物理系 47 261 7.0 15.0
4 郜小勇 复旦大学先进光子学器件和材料国家重点实验室 3 11 2.0 3.0
5 杨月梅 复旦大学先进光子学器件和材料国家重点实验室 6 70 3.0 6.0
6 凌浩 复旦大学先进光子学器件和材料国家重点实验室 3 32 2.0 3.0
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (0)
共引文献  (0)
参考文献  (9)
节点文献
引证文献  (0)
同被引文献  (0)
二级引证文献  (0)
1989(2)
  • 参考文献(2)
  • 二级参考文献(0)
1990(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
1995(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
1999(3)
  • 参考文献(3)
  • 二级参考文献(0)
2000(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
2001(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
2003(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
椭偏光谱
电子回旋共振
反常色散
拉曼散射
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
红外与毫米波学报
双月刊
1001-9014
31-1577/TN
大16开
上海市玉田路500号
4-335
1982
chi
出版文献量(篇)
2620
总下载数(次)
3
总被引数(次)
28003
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
论文1v1指导