Mg含量对MgZnO薄膜光学性质的影响

• 作者: 姚斌 张淼 张跃林 徐莹 高丽丽
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 物理学
• 关键词: 射频磁控溅射 MgZnO薄膜 Mg含量 光学性能
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 材料物理和化学
• 页码范围: 350-354
• 页数: 5页
• 分类号: O472
• 字数: 2514字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/YJYXS20142903.0350

摘要

利用射频磁控溅射技术,高纯的氩气作为溅射气体,分别选用不同Mg含量的MgxZn1-xO陶瓷靶材,在石英衬底上生长六角纤锌矿结构的MgxZn1-xO薄膜,并对薄膜进行了后期热退火处理.研究了Mg含量对MgxZn1-xO薄膜光学性质的影响.实验结果显示,随着Mg含量的增加,薄膜的带隙变宽;光致发光光谱中近带边发射中心蓝移,近带边紫外发射与可见光区深能级发射强度比值减小,发光质量下降;拉曼光谱仍然保持着ZnO的拉曼振动模式,但随着Mg含量的增加,E2high振动峰逐渐展宽,峰型对称性变差.分析表明,随着Mg的合金化,薄膜中产生了更多的杂质缺陷,结晶质量下降.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚斌	吉林大学物理学院	23	68	4.0	7.0
2	高丽丽	北华大学物理学院	17	27	4.0	4.0
6	徐莹	吉林大学物理学院	7	7	2.0	2.0
7	张淼	北华大学物理学院	16	14	2.0	2.0
8	张跃林	北华大学物理学院	7	11	2.0	3.0