ITO薄膜的光学性能研究

• 作者: 王敏 蒙继龙 陈明光
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: ITO薄膜 溶胶-凝胶法 光学性能 透射率
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 27-29,32
• 页数: 4页
• 分类号: TG156
• 字数: 1784字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1007-9289.2003.05.007

摘要

采用溶胶-凝胶法制备了ITO薄膜,并对溶胶-凝胶法中Sn掺杂量、后续热处理温度以及热处理时间3种工艺参数对ITO薄膜可见光区透射率的影响进行了分析和研究.研究结果表明: w(Sn)掺杂量小于10 %时,ITO薄膜的透射率下降缓慢,掺杂量大于10 %后,薄膜的透射率急剧下降;随着热处理时间的延长,ITO薄膜的透射率直线型下降;热处理温度与ITO薄膜透射率呈曲线关系,热处理温度为500℃时,ITO薄膜的透射率出现最大值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒙继龙	华南理工大学机械工程学院	56	634	15.0	23.0
2	王敏	广东技术师范学院机电系	26	65	4.0	7.0
3	陈明光	华南理工大学应用物理系	9	456	6.0	9.0