膜厚控制误差对软X射线多层膜性能影响的分析

• 作者: 王占山
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 软X射线 多层膜 膜厚控制误差 反射率
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 材料科学与技术
• 页码范围: 136-138
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 1837字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2003.02.006

摘要

针对影响多层膜性能的关键因素--膜厚控制误差进行了全面的分析计算,指出影响多层膜性能的主要误差是仪器本身的系统偏差,它使多层膜的峰值反射波长偏离设计值,使得制作出的多层膜无法满足要求;镀膜过程中的随机误差使多层膜的反射率降低,但不影响多层膜峰值反射率波长的位置,因此,在制作多层膜过程中,不但要严格控制镀膜时的系统误差,而且要控制随机误差.