近空间升华技术中气氛对CdTe薄膜的结构、性质的影响

• 作者: 冯良桓 冷文建 张静全 李卫 武莉莉 蔡亚平 蔡伟 蔡道林 郑家贵
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: 太阳电池 CdTe 近空间升华 薄膜
• 年，卷（期）: 2003,（z1）
• 页码范围: 62-65
• 页数: 4页
• 分类号: TK514
• 字数: 2393字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-0096.2003.z1.017

摘要

发展近空间升华氩气氛沉积工艺可以降低制备成本.该文使用近空间升华技术,在不同氧浓度的氩氧气氛下沉积CdTe多晶薄膜.测量了薄膜的X射线衍射谱,计算了薄膜的织构系数Ci及其标准方差σ;测量了薄膜的透过率谱,计算了光能隙.研究了择优取向程度和光能隙随氧浓度的变化.结果表明,1)不同气氛下沉积的CdTe薄膜均为立方相结构.随氧浓度的增加;σ增加;氧浓度为6%时,σ最大;之后随氧浓度增加,σ降低,在12%达到最小,然后随氧浓度的增加而增加.在玻璃衬底上沉积的CdTe薄膜,比在CdS上沉积的具有更高程度的择优取向;2)CdTe薄膜的光能隙为1.50eV～1.51eV,氧浓度对其影响甚微.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯良桓	四川大学材料科学系	78	424	10.0	17.0
2	蔡亚平	四川大学材料科学系	33	302	10.0	16.0
3	郑家贵	四川大学材料科学系	49	317	9.0	15.0
4	张静全	四川大学材料科学系	69	285	8.0	15.0
6	蔡伟	四川大学材料科学系	30	296	10.0	16.0
7	李卫	四川大学材料科学系	56	193	7.0	12.0
8	武莉莉	四川大学材料科学系	56	217	8.0	13.0
11	冷文建	四川大学材料科学系	1	0	0.0	0.0