近空间升华沉积CdTe多晶薄膜过程的研究

• 作者: 冯良桓 张静全 谢二庆 郑华靖 郑家贵
• 来源期刊: 高技术通讯
• 学科: 工学
• 关键词: CdTe太阳电池 近空间升华 多晶薄膜 沉积过程
• 年，卷（期）: 2005,（11）
• 所属期刊栏目: 新材料技术
• 页码范围: 58-62
• 页数: 5页
• 分类号: TQ32
• 字数: 3221字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-0470.2005.11.012

摘要

研究了近空间升华(CSS)沉积CdTe多晶薄膜的物理机制,测量了近空间沉积装置内的温度分布,分析了升温过程、气压与薄膜的初期成核的关系,优化了升温过程,在此基础上制备出了转换效率优良的结构为SnO2:F/CdS/CdTe/Au的串联集成太阳电池.同时结果表明:近空间升华制备CdTe多晶薄膜的物理过程主要是,CdTe升华前升温,CdTe源升华分解为Cd、Te2,Cd、Te2在衬底上化合沉积以及衬底上的CdTe反升华等过程.在正常的近空间升华过程中,CdTe的蒸汽压远小于保护气体的气压.后者对对成核的晶粒方向几乎没有影响,但它通过改变分子平均自由程来影响Cd、Te2分子的扩散,从而影响薄膜的生长速率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯良桓	四川大学材料科学与工程学院	78	424	10.0	17.0
2	谢二庆	兰州大学物理科学与技术学院	84	371	11.0	14.0
3	郑家贵	四川大学材料科学与工程学院	49	317	9.0	15.0
4	张静全	四川大学材料科学与工程学院	69	285	8.0	15.0
5	郑华靖	兰州大学物理科学与技术学院	6	14	3.0	3.0