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摘要:
介绍了国际和国内半导体封装业的发展情况及几种新颖封装,指出中国即将成为国际半导体封装产业的重要基地之一,这为我国发展半导体封装设备提供了良好的市场前景,例举了有关半导体封装工艺、检测、试验及支撑所需的设备.
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文献信息
篇名 微电子封装业和微电子封装设备
来源期刊 电子工业专用设备 学科 工学
关键词 半导体器件 封装 设备
年,卷(期) 2003,(1) 所属期刊栏目 专题报道
研究方向 页码范围 7-11
页数 5页 分类号 TN605
字数 3800字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1004-4507.2003.01.005
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 贾松良 清华大学微电子所 28 448 13.0 20.0
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封装
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期刊影响力
电子工业专用设备
双月刊
1004-4507
62-1077/TN
大16开
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
1971
chi
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