反应磁控溅射MgO薄膜溅射模式的分形维表征

• 作者: 徐可为 汪渊
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 反应溅射 MgO薄膜 分形维 溅射模式
• 年，卷（期）: 2003,（10）
• 页码范围: 1051-1054
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.44|O484
• 字数: 3104字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0412-1961.2003.10.008

摘要

用反应磁控溅射的方法制备了MgO薄膜.基于原子力显微镜观测,并借助Fourier变换,计算了薄膜表面形貌的分形维数.发现分形维数变化对应于薄膜溅射模式的变化,二者之间有相关性氧分压30%的分形维数是一个临界点.分形维数若发生明显跌落,意味着溅射模式发生变化.界于临界值两侧的分形维数,分别对应两种截然不同的溅射模式.与临界值对应的溅射状态则处于金属模式和氧化物模式的混和状态.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪渊	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	5	38	4.0	5.0
5	徐可为	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	238	3333	30.0	44.0