步进扫描投影光刻机工件台和掩模台的进展

• 作者: 刘丹 程兆谷 谌巍 赵全忠 高海军 黄惠杰
• 来源期刊: 激光与光电子学进展
• 学科: 工学
• 关键词: 步进扫描投影光刻机 工件台 掩模台 套刻精度
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 光刻技术
• 页码范围: 14-20
• 页数: 7页
• 分类号: TN4
• 字数: 7127字
• 语种: 中文

摘要

着重介绍了当前国外步进扫描投影光刻机的工件台和掩模台的发展状况,并对套刻精度和整机精度进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵全忠	中国科学院上海光学精密机械研究所	29	170	6.0	12.0
2	程兆谷	中国科学院上海光学精密机械研究所	36	430	13.0	20.0
3	高海军	中国科学院上海光学精密机械研究所	30	610	13.0	24.0
4	黄惠杰	中国科学院上海光学精密机械研究所	69	544	13.0	23.0
5	刘丹	中国科学院上海光学精密机械研究所	52	328	10.0	15.0
6	谌巍	中国科学院上海光学精密机械研究所	6	79	2.0	6.0