衬底温度对强流脉冲离子束烧蚀沉积类金刚石薄膜化学结构的影响

• 作者: 梅显秀 马腾才
• 来源期刊: 高等学校化学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: DLC薄膜 强流脉冲离子束烧蚀 化学结合状态
• 年，卷（期）: 2003,（7）
• 页码范围: 1262-1265
• 页数: 4页
• 分类号: O484.5
• 字数: 3095字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0251-0790.2003.07.020

摘要

采用强流脉冲离子束(High-intensity pulsed ion beam, HIPIB)烧蚀技术在Si(100)基体上沉积类金刚石(Diamond-like carbon, DLC)薄膜, 衬底温度的变化范围为298～673 K. 利用Raman光谱和X射线光电子谱(XPS)对DLC薄膜的化学结合状态与衬底温度之间关系进行研究. 薄膜XPS的C1s谱的解谱分析得出薄膜中含有sp3C(结合能为285.5 eV)和sp2C(结合能为284.7 eV)成分, 根据解谱结果评价薄膜中sp3C含量. 根据XPS分析可知, 衬底温度低于473 K时, sp3C的含量大约为40%左右; 随着沉积薄膜时衬底温度的提高, sp3C的含量降低, 由298 K时的42.5%降到673 K时的8.1%, 从573 K开始发生sp3C向sp2C转变. Raman光谱表明, 随着衬底温度的提高, Raman谱中G峰的峰位靠近石墨峰位, G峰的半峰宽降低, D峰与G峰的强度比ID/IG增大, 说明薄膜中的sp3C的含量随衬底温度增加而减少.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马腾才	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	81	688	15.0	21.0
2	梅显秀	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	12	104	5.0	10.0