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压强对射频溅射氧化锌薄膜结构和性能的影响
压强对射频溅射氧化锌薄膜结构和性能的影响
作者:
余志明
刘昕
杨莉
苏伟涛
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
氧化锌
透明导电
射频溅射
摘要:
采用射频溅射方法在聚脂(PET)胶片上沉积ZnO:Al薄膜,实验结果表明沉积压强对氧化锌透明导电薄膜的表面形貌、结构、光电性能等有较大的影响,在低的沉积压强下薄膜具有很好的(002)结构,有优良的光、电综合性能.同时详细讨论了影响结构和性能的诸因素.
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文献信息
篇名
压强对射频溅射氧化锌薄膜结构和性能的影响
来源期刊
湖南有色金属
学科
工学
关键词
氧化锌
透明导电
射频溅射
年,卷(期)
2004,(2)
所属期刊栏目
材料
研究方向
页码范围
24-26,55
页数
4页
分类号
TG146.1+3
字数
1995字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1003-5540.2004.02.008
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
余志明
80
689
15.0
21.0
2
杨莉
12
170
6.0
12.0
3
苏伟涛
3
31
3.0
3.0
4
刘昕
6
33
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透明导电
射频溅射
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
湖南有色金属
主办单位:
湖南有色金属研究院
湖南有色金属学会
出版周期:
双月刊
ISSN:
1003-5540
CN:
43-1045/TF
开本:
大16开
出版地:
湖南省长沙市芙蓉区张公岭亚大路99号
邮发代号:
创刊时间:
1985
语种:
chi
出版文献量(篇)
2724
总下载数(次)
8
总被引数(次)
11010
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