氮分压对氮化锆薄膜颜色影响规律的研究

• 作者: 孙维连 李新领 牛建钢
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 物理学
• 关键词: 氮化锆 颜色 质谱仪
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 215-217
• 页数: 3页
• 分类号: O484.4+1
• 字数: 1830字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2004.04.007

摘要

采用QMS200质谱仪进行镀膜过程中的气氛监控,通过俄歇电子能谱分析了氮气分压与Zr-N薄膜中氮含量的关系;通过Zr-N薄膜颜色的测量得出了氮分压与薄膜颜色的关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙维连	河北农业大学机电工程学院	96	375	10.0	12.0
2	李新领	河北农业大学机电工程学院	23	98	7.0	8.0
3	牛建钢	河北农业大学机电工程学院	2	15	2.0	2.0