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脉冲工艺在薄膜制备中的应用
脉冲工艺在薄膜制备中的应用
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
电弧离子镀
脉冲工艺
低温沉积
摘要:
本文综述了国内外脉冲工艺在电弧离子镀和磁控溅射中的应用.脉冲工艺为电弧离子镀净化大颗粒、增强膜基结合力、改善组织形貌、降低沉积温度等起到了重要作用.电弧或溅射离子镀高的离化率为脉冲工艺提供了最好的应用条件.最后,对脉冲工艺在薄膜制备中的应用前景进行了展望.
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文献信息
篇名
脉冲工艺在薄膜制备中的应用
来源期刊
真空科学与技术学报
学科
物理学
关键词
电弧离子镀
脉冲工艺
低温沉积
年,卷(期)
2004,(z1)
所属期刊栏目
综述评论
研究方向
页码范围
33-37
页数
5页
分类号
O484.1
字数
5413字
语种
中文
DOI
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研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
真空科学与技术学报
主办单位:
中国真空学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
开本:
大16开
出版地:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
邮发代号:
创刊时间:
1981
语种:
chi
出版文献量(篇)
4084
总下载数(次)
3
总被引数(次)
19905
相关基金
国家高技术研究发展计划(863计划)
英文译名:
The National High Technology Research and Development Program of China
官方网址:
http://www.863.org.cn
项目类型:
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学科类型:
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