利用光电子能谱研究氧化锌压敏电阻界面电输运特性

• 作者: 杨邦朝 禹争光
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体技术 氧化锌压敏电阻 纯氧化锌陶瓷 光电子能谱 载流子陷阱
• 年，卷（期）: 2004,（8）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 22-23,50
• 页数: 3页
• 分类号: TN304
• 字数: 2244字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2004.08.008

摘要

采用X射线光电子能谱(XPS)对比分析纯氧化锌陶瓷和氧化锌压敏电阻的界面特性.结果表明,纯氧化锌陶瓷晶粒平均尺寸小于10 μm,掺杂材料有利于ZnO晶粒均匀生长.界面上O/Zn原子数量比值等于2.58,但界面势垒不到10 mV,其体电阻率在2.36～47.97Ω·cm.价电子谱发现:室温下仅纯ZnO费米能级附近有载流子分布,这表明:压敏电阻界面有陷阱态,氧化锌压敏电阻界面电输运特性需用载流子陷阱对双肖特基势垒进行补充.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	禹争光	电子科技大学微电子与固体电子学院	8	112	5.0	8.0
2	杨邦朝	电子科技大学微电子与固体电子学院	253	3422	31.0	49.0