VLSI电迁移效应及自制型电迁移测试系统

• 来源期刊: 中国集成电路
• 学科: 工学
• 关键词: 迁移效应 扩散阻挡层 可靠性 同类产品 金属线 电迁移 半导体 失效判定 自制 自动测试系统
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 页码范围: 71-75,78
• 页数: 6页
• 分类号: TN307
• 语种: 中文

摘要

本文首先针对半导体可靠性测试项目-电迁移的基本原理、可靠性问题、电迁移效应的防护措施及失效判定作概括性的介绍.第二部分主要介绍自制电迁移自动测试系统开发的目的,并比较国外进口电迁移自动测试系统的效率,最后以实验证明自制电迁移自动测试系统的性能和功能可以取代进口的同类产品,达到降低企业成本及节省产品验证时程的目的.