磁控溅射锆钒合金膜

• 作者: 施立群 梁建华 赵鹏冀 郝万立
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 物理学
• 关键词: 合金膜 磁控溅射 蒸发速率 摩尔分数 钒 锆 成分 蒸气压
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 页码范围: 423
• 页数: 1页
• 分类号: O484.1

摘要

蒸发成膜合金中的各成分蒸发速率为GA=7．714XAPA（MA／T）^1/2，G4为合金中A成分的蒸发速率，g／cm^2．s；局为合金中A成分的摩尔分数；n为4物质的纯蒸气压，Pa；心为4物质的分子量；T为温度，K。