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电阻率对硅衬底微波传输特性影响分析
电阻率
硅衬底
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硅基锗硅薄膜
驰豫衬底
外延生长
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多孔硅
双槽电化学腐蚀法
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欧姆接触
系统集成中的高阻硅IPD技术
IPD
系统集成
高阻硅
无源器件
滤波器
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 含氧化多孔硅的低阻硅衬底
来源期刊 科技开发动态 学科 工学
关键词 射频电路 氧化多孔硅 衬底 低阻硅区域
年,卷(期) 2004,(7) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 46-47
页数 2页 分类号 TN304.21
字数 语种 中文
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研究主题发展历程
节点文献
射频电路
氧化多孔硅
衬底
低阻硅区域
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
科技开发动态
双月刊
1003-014X
CN 11-2681/N
北京市中关村北四环西路33号
出版文献量(篇)
5181
总下载数(次)
14
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0
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