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非掺半绝缘磷化铟晶片的制备及其均匀性
磷化铟(InP)
非掺
半绝缘
均匀性
霍耳(Hall)
PL-Mapping
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 高温退火非掺杂磷化铟制备半绝缘衬底的方法
来源期刊 科技开发动态 学科 工学
关键词 半绝缘 磷化铟 衬底 高温退火 掺杂 制备 专利
年,卷(期) kjkfdt_2004,(11) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 47
页数 1页 分类号 TN304
字数 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 赵有文 中国科学院半导体研究所 42 217 7.0 11.0
传播情况
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2004(0)
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研究主题发展历程
节点文献
半绝缘
磷化铟
衬底
高温退火
掺杂
制备
专利
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
科技开发动态
双月刊
1003-014X
CN 11-2681/N
北京市中关村北四环西路33号
出版文献量(篇)
5181
总下载数(次)
14
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