高温退火非掺杂磷化铟制备半绝缘衬底的方法

• 作者: 赵有文
• 来源期刊: 科技开发动态
• 学科: 工学
• 关键词: 半绝缘 磷化铟 衬底 高温退火 掺杂 制备 专利
• 年，卷（期）: 2004,（11）
• 页码范围: 47
• 页数: 1页
• 分类号: TN304
• 语种: 中文

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵有文	中国科学院半导体研究所	42	217	7.0	11.0