导航定位技术（自主式导航系统与组合导航）（续11）

• 来源期刊: 导航
• 学科: 航空航天
• 关键词: 导航定位技术 重量轻 组合导航 微电子 半导体集成电路 体积小 功耗 导航系统 陀螺 批生产
• 年，卷（期）: dhb_2005,（1）
• 页码范围: 117-118
• 页数: 2页
• 分类号: V249

摘要

MEMS inertial sensor用精密机械、微电子、半导体集成电路工艺等制作成的微小型陀螺和加速度计。微机械惯性传感器具有体积小(毫米级)、重量轻(仅为1mg)、功耗小(1mW左右)、启动快(1s左右)、成本低(可以大批生产，每个仅1美元左右)、