非平衡磁控溅射离子镀MoS2-Ti复合薄膜的结构及性能

• 作者: 侯圣英 孙玉璞 孟祥娟 张晓玲 高蕊
• 来源期刊: 山东大学学报（工学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 二硫化钼 钛 复合薄膜 摩擦性能
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 页码范围: 20-23
• 页数: 4页
• 分类号: TG156
• 字数: 2186字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-3961.2005.06.005

摘要

用非平衡磁控溅射离子镀法沉积了钛含量不同的MoS2-Ti复合薄膜,电子探针分析表明共沉积钛可以降低MoS2薄膜中氧杂质的含量,XRD分析显示薄膜具有类似非晶的结构.划痕试验结果显示薄膜的临界栽荷都大于100N,球盘磨损试验结果显示MoS2-Ti复合薄膜比MoS2薄膜耐磨性好,并且摩擦系数低于0.07.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙玉璞	山东大学材料科学与工程学院	10	111	5.0	10.0
2	高蕊	济南大学土木建筑学院	15	53	5.0	7.0
3	张晓玲	山东大学材料科学与工程学院	12	80	5.0	8.0
4	侯圣英	山东大学材料科学与工程学院	1	5	1.0	1.0
5	孟祥娟		1	5	1.0	1.0