基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
与微米金刚石薄膜不同,纳米金刚石薄膜表面平滑.因此,在摩擦学应用领域中,纳米金刚石薄膜是最理想的.本研究利用CH4/H2微波等离子体CVD工艺在纯钛上沉积出纳米金刚石薄膜和微米金刚石薄膜.采用的沉积条件为:沉积温度约为1173K;沉积压力为8.0kPa;CH4浓度在0.5 mol%和5 mol%之间变化;沉积时间则从4h到12h不等.金刚石薄膜表面用扫描电镜(SEM)观察.在激光拉曼光谱中,微米金刚石薄膜在1332cm-1处有sp3键碳的锐峰.1140cm-1附近的光谱带与纳米金刚石薄膜的特征有关.并用X射线衍射对金刚石薄膜进行了分析.X射线衍射花样证实,纳米金刚石薄膜存在(111)面和(220)面.金刚石薄膜的表面粗糙度随着CH4浓度的增加而减小.但是,甲烷浓度在2 mol%与5 mol%之间变化时,金刚石薄膜的表面粗糙度接近50nm.据证实,CH4浓度在2 mol%和5 mol%之间,利用CH4/H2微波等离子体CVD工艺可以沉积出纳米金刚石薄膜.
推荐文章
直流等离子体CVD金刚石薄膜涂层设备的研制
化学气相沉积
等离子体炬
金刚石膜
高功率微波等离子体环境下甲烷浓度对金刚石膜的影响
甲烷
高微波功率
微波等离子体
化学气相沉积
磁透镜技术及其在沉积金刚石/类金刚石薄膜中的应用
磁透镜技术
金刚石沉积膜
类金刚石沉积膜
等离子体刻蚀金刚石膜的研究方法及现状
等离子体刻蚀
金刚石膜
进展
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 利用甲烷/氢微波等离子体CVD工艺在纯钛基底上沉积纳米金刚石薄膜
来源期刊 超硬材料工程 学科 工学
关键词 纳米金刚石 沉积薄膜 微波等离子体CVD 纯钛基底 表面粗糙度
年,卷(期) 2005,(5) 所属期刊栏目 国外技术
研究方向 页码范围 46-51
页数 6页 分类号 TQ164
字数 4275字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1673-1433.2005.05.012
五维指标
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (0)
共引文献  (0)
参考文献  (1)
节点文献
引证文献  (4)
同被引文献  (9)
二级引证文献  (14)
1997(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
2005(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
2006(1)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(0)
2011(1)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(0)
2013(3)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(2)
2014(3)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(3)
2015(3)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(2)
2016(1)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(1)
2017(1)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(1)
2018(5)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(5)
研究主题发展历程
节点文献
纳米金刚石
沉积薄膜
微波等离子体CVD
纯钛基底
表面粗糙度
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
超硬材料工程
双月刊
1673-1433
45-1331/TD
大16开
广西桂林市辅星路9号
48-64
1990
chi
出版文献量(篇)
2347
总下载数(次)
9
总被引数(次)
6491
论文1v1指导