(Cr-Si-Ni)/Si薄膜的微观结构和电阻率

• 作者: 吴建生 张玉勤 董显平
• 来源期刊: 中国有色金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电阻薄膜 Si基底 微观结构 界面扩散 电阻率
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 页码范围: 746-750
• 页数: 5页
• 分类号: TM241.1
• 字数: 4123字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-0609.2005.05.014

摘要

采用磁控溅射方法在Si(100)基底上制备了Cr-Si-Ni电阻薄膜,研究了不同温度退火时薄膜微观结构的转变过程以及对电阻率的影响.结果表明:薄膜在溅射态和低于300℃热处理时为非晶态;退火温度高于300℃以后,薄膜中析出CrSi2晶化相;当退火温度达到600℃时,薄膜中还有少量多晶Si相析出,同时在薄膜与基底界面处还发生了原子的相互扩散;CrSi2晶化相成"岛"状结构,弥散分布在非晶绝缘基底上;薄膜室温电阻率随着退火温度的上升,呈先上升、后下降趋势;薄膜电阻率随退火温度的变化行为与薄膜微观结构的变化以及界面扩散有关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董显平		7	38	3.0	6.0
2	吴建生		11	47	3.0	6.0
3	张玉勤		2	13	1.0	2.0