多晶硅微型电极阵列的研制

• 作者: 吴英 张正元 江永清 温志渝
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 微型电极阵列 多晶硅
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 317-319
• 页数: 3页
• 分类号: TN256
• 字数: 1996字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2005.04.013

摘要

讨论了pn结对制作硅微电极阵列的局限性,提出了一种在沟道侧壁制作多晶硅电极阵列的设计和制作方法.实验结果表明,利用该方法研制的微电极阵列不仅克服了pn结的影响,能够为MEMS芯片器件提供所需的工作电压,而且也为一些小型化电极的设计及研制提供了新的思路和方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	温志渝	重庆大学光电工程学院	143	1259	18.0	26.0
2	张正元	重庆大学光电工程学院	8	67	6.0	8.0
3	吴英		25	127	6.0	10.0
7	江永清		15	62	5.0	7.0