甲烷浓度对金刚石薄膜织构的影响

• 作者: 余志明 刘王平 许向阳 陈志红
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 热丝化学气相沉积 硬质合金 金刚石薄膜 织构
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 21-24,35
• 页数: 5页
• 分类号: TB43
• 字数: 3353字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2005.02.007

摘要

采用热丝化学气相沉积法,以甲烷和氢气为反应气体,在硬质合金YG6基体上沉积了金刚石薄膜.研究了不同的甲烷浓度对金刚石织构变化趋势的影响.分别采用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)对金刚石膜的表面形貌、织构形成进行了分析.结果表明:当基体温度为760℃,沉积气压为4×103Pa,甲烷浓度从1%到5%,都形成了(110)织构.但是,当甲烷浓度为3.3%时,有(100)织构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余志明	中南大学材料科学与工程学院	80	689	15.0	21.0
2	许向阳		22	378	13.0	19.0
3	陈志红	中南大学材料科学与工程学院	11	144	7.0	11.0
4	刘王平		1	17	1.0	1.0