MSM光探测器直流特性的二维分析

• 作者: 于弋川 何建军 何赛灵 邹勇卓
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: MSM光探测器 有限差分 二维分析 直流 硅材料
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 798-804
• 页数: 7页
• 分类号: TN36
• 字数: 4119字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.04.033

摘要

基于有限差分方法对金属-半导体-金属(MSM)光探测器进行了二维分析,得到有明确物理意义的模拟曲线和结论,并结合模拟结果对MSM光探测器的光电直流特性进行了分析.全部模拟工作都是基于半导体物理的基本微分方程完成的,这对于未来优化设计探测器的性能和结构有很大的意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邹勇卓	浙江大学光及电磁波研究中心现代光学仪器国家重点实验室	7	72	6.0	7.0
2	何赛灵	浙江大学光及电磁波研究中心现代光学仪器国家重点实验室	100	1000	18.0	26.0
3	于弋川	浙江大学光及电磁波研究中心现代光学仪器国家重点实验室	2	10	2.0	2.0