单片集成MEMS中的阳极键合工艺

• 作者: 张会珍 樊路加 祁雪 秦明 黄庆安
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 单片集成MEMS 阳极键合
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 页码范围: 743-746
• 页数: 4页
• 分类号: TB48|TP212
• 字数: 2393字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2005.04.013

摘要

分析了阳极键合工艺的原理及其工艺条件对CMOS电路的影响,并通过理论分析和实验研究了单片集成MEMS中的两种阳极键合方法:对于玻璃在硅片上方的键合方式,通过在电路部分上方玻璃上腐蚀一定深度的腔及用氮化硅层保护电路可以在很大程度上减轻阳极键合工艺的影响;而玻璃在硅片下方的键合方式,硅片上的电路几乎不受阳极键合工艺的影响,两种方法各有优缺点.