声空化物理化学综合法制备发光多孔硅薄膜的微结构与发光特性

• 作者: 丁训民 任鹏 侯晓远 刘小兵 史向华 廖太长 柳毅 柳玥 熊祖洪
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 声空化方法 微结构 发光特性 多孔硅
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质：电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 416-421
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 2960字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.01.078

摘要

声空化所引发的特殊的物理、化学环境为制备高效发光的多孔硅薄膜提供了一条重要的途径.实验结果表明,声化学处理对于改善多孔硅的微结构,提高发光效率和发光稳定性都是一项非常有效的技术.超声波加强阳极电化学腐蚀制备发光多孔硅薄膜,比目前通用的常规方法制备的样品显示出更优良的性质.这种超声的化学效应源于声空化,即腐蚀液中气泡的形成、生长和急剧崩溃,在多孔硅的腐蚀过程中,孔中的氢气泡,由于超声波的作用增加了逸出比率和塌缩,有利于孔沿垂直方向的腐蚀.