Si基微纳集成光波导的理论设计

• 作者: 朱启乐 李宝军 李章健 李静 林旭彬 王钢 蔡志岗 赵玉周 陈志文
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微纳集成 光波导 集成光学 集成光子学
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 页码范围: 229-232
• 页数: 4页
• 分类号: TN256
• 字数: 2272字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.z1.059

摘要

提出了一种宽度从微米到亚微米、深亚微米、再到纳米级渐变的微纳集成结构光波导,并通过理论分析和模拟计算得到了基于Si基半导体材料的微纳集成光波导参数.其制作工艺非常简单,插入损耗在1～2.5dB之间.这种微纳集成光波导不但可解决芯径为10μm的单模光纤与纳米量级的光子晶体波导器件间的光对接、耦合和互连等难题,还可缩小光波导器件芯片的单元尺寸,有利于提高器件的集成度.为光电子器件向纳米光子集成方向的发展提供了新途径,为新一代全光通信用微纳新原理光电子器件及功能集成的发展提供了新思路.