表面加工多晶硅薄膜电阻温度系数的在线测试

• 作者: 汪家文 许高斌
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 电阻温度系数 多晶硅薄膜 表面微加工 在线测试
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳加工与测试及封装技术
• 页码范围: 401-403,406
• 页数: 4页
• 分类号: TN403|TN37
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.143

摘要

提出了一种在线提取多晶硅薄膜电阻温度系数的简单测量方法.给出了瞬态热电分析模型,综合考虑了各种散热因素如对流、辐射以及向衬底传热的影响,通过实验提取出参数.提出的方法对分析其他MEMS器件的热电特性和监控器件设计都具有实际应用价值和借鉴意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪家文		2	1	1.0	1.0
2	许高斌		22	140	7.0	11.0