一种简单的表面加工多晶硅薄膜热扩散率在线测试结构

• 作者: 戚丽娜 李伟华 黄庆安
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅薄膜 热扩散率 瞬态特性
• 年，卷（期）: 2006,（8）
• 所属期刊栏目: 科研通信
• 页码范围: 1549-1552
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 1712字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0372-2112.2006.08.040

摘要

本文提出了一种表面加工多晶硅薄膜的在线测试结构.模型综合考虑了辐射、对流以及向衬底的传热等因素的影响,通过分析两个长度不同但宽度与厚度相同的梁在相同加热电流下的瞬态电阻变化特性,来提取多晶硅薄膜的热扩散系数.用ANSYS软件验证了该模型的正确性,通过实验测得表面加工多晶硅薄膜的热扩散率为1.059×10-5±3×10-6m2/s.