离子束溅射沉积不同厚度铜膜的光学常数研究

• 作者: 易葵 范平 范正修 邵建达 齐红基
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜光学 光学常数 铜膜 离子束溅射
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 943-947
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4
• 字数: 3702字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2006.06.029

摘要

利用Lambda-900分光光度计对离子束溅射沉积不同厚度Cu膜测定的反射率和透射率,运用哈德雷方程,并考虑基片后表面的影响,对离子束溅射沉积的Cu膜光学常数进行了计算.结果表明,在同一波长情况下,膜厚小于100 nm的纳米Cu膜光学常数随膜厚变化明显;膜厚大于100 nm后,Cu膜的光学常数趋于一定值.Cu膜不连续时的光学常数与连续膜时的光学常数随波长变化规律不同;不同厚度的连续膜的光学常数随波长变化规律相同,但大小随膜厚变化而变化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邵建达	中国科学院上海光学精密机械研究所	212	2131	21.0	29.0
2	易葵	中国科学院上海光学精密机械研究所	67	518	14.0	18.0
3	范正修	中国科学院上海光学精密机械研究所	203	2312	23.0	32.0
4	齐红基	中国科学院上海光学精密机械研究所	40	299	11.0	16.0
5	范平	深圳大学理学院	14	136	8.0	11.0