MgO薄膜的制备方法及工艺条件对薄膜特性的影响

• 作者: 张贺秋 王兆阳 王志俊 胡礼中 赵杰
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 工学
• 关键词: 制备方法 MgO薄膜 结晶取向 表面形貌
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 知识与进展
• 页码范围: 41-45
• 页数: 5页
• 分类号: TB43
• 字数: 5457字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2006.01.009

摘要

综述了MgO薄膜的主要制备方法,包括电子束蒸发、脉冲激光沉积、磁控溅射、金属有机物化学气相沉积、分子束外延和溶胶-凝胶法等.阐述了各种方法在制备MgO薄膜方面的优点和不足,重点讨论了不同的生长条件对薄膜结晶取向、表面形貌等性质的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵杰	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室及物理系	171	1184	17.0	27.0
2	王兆阳	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室及物理系	7	56	4.0	7.0
3	胡礼中	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室及物理系	28	160	8.0	11.0
4	王志俊	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室及物理系	7	34	4.0	5.0
5	张贺秋	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室及物理系	14	41	4.0	6.0