增强型脉冲离子源镀制DLC薄膜拉曼光谱研究

• 作者: 朱昌 郭芮 陈朝平
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 增强型脉冲弧离子源 磁过滤装置 类金刚石薄膜 拉曼光谱 折射率 光学带隙
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 228-231
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 3208字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2006.03.016

摘要

本文利用增强型脉冲电弧离子源在硅基底上沉积类金刚石薄膜,拉曼光谱分析表明DLC薄膜中sp3键含量比不加磁过滤装置时脉冲离子源所镀的类金刚石薄膜高,折射率更接近金刚石折射率2.4并且光学带隙也增大,证明用增强型脉冲离子源镀制的类金刚石薄膜sp3键含量提高,性能得到了很大改善.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭芮	西安工业学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	3	27	3.0	3.0
2	朱昌	西安工业学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	39	245	9.0	13.0
3	陈朝平	西安工业学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	1	4	1.0	1.0