光学薄膜的分层界面散射模型

• 作者: 侯海虹 易葵 沈健 沈自才 范正修 邵建达
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜光学 表面散射模型 矩阵法 总积分散射
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 1102-1106
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 3618字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2006.07.028

摘要

提出了一种计算光学介质膜系表面总积分散射(TIS)的理论模型.该模型认为,介质膜系粗糙的膜层界面和表面为微观结构不均匀的微薄过渡区;过渡区可用折射率为不同常量的层数足够多的均匀子层来代替,同时这些均匀子层的折射率变化满足指数函数的分布规律.利用矩阵法对积分散射的表达式进行了推导.对于电子束蒸发方法在K9玻璃上沉积的ZrO2单层膜,分层界面散射模型对积分散射的理论计算值要比非相关表面散射模型的计算值更加符合总积分散射仪的实验测量结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邵建达	中国科学院上海光学精密机械研究所	212	2131	21.0	29.0
2	易葵	中国科学院上海光学精密机械研究所	67	518	14.0	18.0
3	范正修	中国科学院上海光学精密机械研究所	203	2312	23.0	32.0
4	侯海虹	中国科学院上海光学精密机械研究所	8	113	6.0	8.0
8	沈健	中国科学院上海光学精密机械研究所	10	113	8.0	10.0
12	沈自才	中国科学院上海光学精密机械研究所	15	140	8.0	11.0