脉冲偏压电弧离子镀CrAlN薄膜研究

• 作者: 卢国英 林国强
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电弧离子镀 脉冲偏压 CrAlN薄膜 高温抗氧化
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 441-445
• 页数: 5页
• 分类号: TB43
• 字数: 3283字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2006.06.003

摘要

在高速钢和不锈钢基体上用脉冲偏压电弧离子镀技术制备了CrAlN薄膜,研究了脉冲偏压对薄膜成分、结构和性能的影响,并进行了900 ℃下的高温抗氧化性能检测.结果表明,薄膜中Al的相对含量随着脉冲偏压的增加而降低;薄膜的相结构由立方CrN和Al相组成;薄膜的硬度随脉冲偏压的增加而增大,在偏压幅值为-500 V时,硬度可达21.5 GPa;薄膜具有高达70 N的膜基结合力;此外,薄膜在900 ℃的大气中保温10 h,没有出现明显的氧化现象;在合成的三种薄膜中,在脉冲偏压为-500 V×40 kHz×40%时的薄膜具有最好的综合性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林国强	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	59	562	13.0	21.0
2	卢国英	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	1	26	1.0	1.0