真空紫外～X射线反射膜研究现状

• 作者: 付绍军 刘颍 干蜀毅 徐向东 洪义麟
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 真空紫外 X射线 反射膜 反射镜 反射率 复合膜
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 459-468
• 页数: 10页
• 分类号: TB43
• 字数: 8074字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2006.06.007

摘要

真空紫外～X射线反射膜在分子、原子结构、宇宙物理、微纳米器件、生命科学等研究领域有着极其重要的应用.本文总结了迄今为止在λ＜200nm内反射膜研究的进展情况,列出了常用单层金属反射膜最佳沉积条件、反射光谱以及各自的特点;对复合膜则根据所应用的波长范围,阐述了膜材选择、膜层设计及薄膜制作过程中所涉及的一些重要问题,分析了复合膜反射率增强的机理,并给出了相应波段所用的膜材、膜对结构及所能达到的最高反射率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	干蜀毅	中国科技大学国家同步辐射实验室	59	703	12.0	25.0
5	徐向东	中国科技大学国家同步辐射实验室	6	57	4.0	6.0
6	洪义麟	中国科技大学国家同步辐射实验室	6	57	4.0	6.0
7	刘颍	中国科技大学国家同步辐射实验室	4	37	3.0	4.0
8	付绍军	中国科技大学国家同步辐射实验室	10	74	4.0	8.0