MPECVD法在抛光石英玻璃上沉积金刚石薄膜

• 作者: 汪建华 满卫东 熊礼威
• 来源期刊: 辽宁石油化工大学学报
• 学科: 化学
• 关键词: 化学气相沉积 金刚石薄膜 石英玻璃 微波
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 页码范围: 47-50
• 页数: 4页
• 分类号: O6
• 字数: 3012字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6952.2006.04.016

摘要

采用微波等离子体增强化学气相沉积方法(MPECVD),利用氢气和甲烷混合气体,在抛光石英基片上低温沉积出金刚石薄膜.用扫描电子显微镜(SEM)、激光拉曼光谱仪(Raman)和傅立叶红外光谱仪(FTIR)对薄膜的表面形貌、颗粒尺寸、纯度和光学透过性能进行了表征.通过SEM发现,得到的金刚石薄膜的颗粒尺寸为0.2～0.3μm,形核密度超过109cm-2,从薄膜形貌可以发现,较高温度有利于提高薄膜的生长速率和颗粒尺寸的均匀性.通过拉曼光谱和红外透射光谱分析发现,较高温度下沉积的薄膜具有较高的金刚石相含量,薄膜的光学透过性能也相对较好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪建华		7	30	4.0	5.0
2	满卫东		3	11	2.0	3.0
3	熊礼威		3	16	3.0	3.0