金刚石膜制备工艺对其应力-应变特性的影响

• 作者: 吕天山 吕宪义 白亦真 白媛 金曾孙 韩雪梅
• 来源期刊: 吉林大学学报（理学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 化学气相沉积 金刚石膜 应力-应变
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 物理
• 页码范围: 784-786
• 页数: 3页
• 分类号: O484.5
• 字数: 1415字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-5489.2006.05.023

摘要

研究了在直流热阴极辉光放电等离子体化学气相沉积制备金刚石厚膜的工艺过程中,放电电流和甲烷浓度对金刚石膜应力-应变特性的影响规律.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕宪义	吉林大学超硬材料国家重点实验室	27	302	10.0	17.0
2	金曾孙	吉林大学超硬材料国家重点实验室	50	462	12.0	19.0
3	韩雪梅	吉林大学超硬材料国家重点实验室	56	400	10.0	18.0
4	白亦真	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	9	18	3.0	3.0
8	白媛	辽宁工学院计算机科学与工程学院	4	29	3.0	4.0
9	吕天山	长春工业大学工商管理学院	4	9	2.0	3.0