MEMS器件缩减模型建模方法研究

• 作者: 卢凉 杜平安 秦东兴 阎威
• 来源期刊: 电子科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 振型 缩减模型 器件
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 电子机械工程
• 页码范围: 841-843
• 页数: 3页
• 分类号: TN401|TH113.1
• 字数: 2364字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0548.2006.05.035

摘要

论述了微机电系统(MEMS)器件缩减模型的建立是进行MEMS系统级模拟的关键.论证了基于线性正交振型建立MEMS器件缩减模型是一种有效的方法,导出了MEMS器件动态缩减模型的微分方程,即根据能量守恒定律,用广义坐标表示系统的各个能量域,用线性正交振型的叠加对微分方程进行解耦,建立起一组表征器件动态特性的常微分方程,就可以利用现有的系统级仿真软件和电路一起进行系统级模拟.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜平安	电子科技大学机械电子工程学院	121	2000	22.0	40.0
2	秦东兴	电子科技大学机械电子工程学院	19	81	5.0	8.0
3	卢凉	电子科技大学机械电子工程学院	4	53	2.0	4.0
4	阎威		2	0	0.0	0.0