MEMS器件热致封装效应的解析建模研究

• 作者: 唐洁影 宋竞 黄庆安
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 热致封装效应 单元库法 节点分析法
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 封装与可靠性
• 页码范围: 1613-1616
• 页数: 4页
• 分类号: TN4
• 字数: 3233字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.079

摘要

由封装结构热失配引入的结构变形和应力将对MEMS器件性能产生显著影响,即热致封装效应.基于单元库法思想构建了封装后MEMS器件的解析模型.新建锚区、芯片、封装基板等标准单元,利用节点分析法描述了各结构单元间的热弹性耦合行为,以此作为封装效应评估的基础.利用该模型计算了热致封装效应对常规芯片粘接封装的双端固支梁器件主要性能参数的影响.