GaN外延薄膜的研究进展

• 作者: 胡加辉
• 来源期刊: 中国照明
• 学科: 工学
• 关键词: GAN 外延生长 进展 短周期超晶格技术 薄膜生长
• 年，卷（期）: 2006,（9）
• 页码范围: 36-40
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.23

摘要

首先回顾GaN外延薄膜生长工艺。然后综述了高质量GaN外延薄膜生长技术的最新重要进展，主要的新技术有：横向外延生长技术；柔性衬底技术；多缓冲层技术；短周期超晶格（SPS）技术；沟道接触结技术以及四组分AlInGaN合金技术，最后对GaN外延薄膜生长技术的发展方向及应用前景提出了展望。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡加辉		3	0	0.0	0.0