Ag衬底层对FePt薄膜结构和性能的影响

• 作者: 展晓元 张大勇 张跃 郑小兰 顾有松
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: FePt薄膜 相结构 磁性能 热处理
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 203-206
• 页数: 4页
• 分类号: TM273
• 字数: 3384字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2006.02.011

摘要

采用磁控溅射方法在自然氧化的单晶Si(100)衬底上制备了双层结构的FePt-X/Ag(X=Ag或Pt)薄膜.以20nm厚的Ag做衬底,可以制备出易磁化轴垂直基片的FePt合金薄膜;Ag在FePt薄膜中优先团聚,不利于控制FePt晶粒的长大,调整Pt的含量可以控制热处理过程中FePt薄膜的晶粒尺度;通过XRD、TEM、VSM对薄膜样品的结构、晶粒尺寸的观察和磁性检测,我们认为FePt合金薄膜有序化转变的最佳热处理温度在400℃;经过500℃热处理,薄膜软硬磁耦合较好,晶粒尺寸约为100nm,有最大的矫顽力1.04×106A/m.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	展晓元	北京科技大学材料物理与化学系	8	17	2.0	3.0
2	张跃	北京科技大学材料物理与化学系	85	559	13.0	20.0
3	顾有松	北京科技大学材料物理与化学系	32	162	7.0	10.0
4	郑小兰	北京科技大学材料物理与化学系	4	9	2.0	2.0
5	张大勇	北京科技大学材料物理与化学系	4	33	2.0	4.0