退火对ZnO:Al薄膜光致发光性能的影响

• 作者: 徐自强 李燕 祖小涛 薛书文 谢娟 邓宏 陈航
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 ZnO:Al薄膜 退火处理 光致发光 红移
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 粒子束技术
• 页码范围: 169-172
• 页数: 4页
• 分类号: O484.41
• 字数: 2487字
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶-凝胶工艺在石英衬底上制备ZnO:Al(AZO)薄膜,通过不同温度的退火处理,研究了退火对AZO薄膜结构和光致发光特性的影响.XRD图谱表明:所制备的薄膜具有c轴高度择优取向,随着退火温度的升高,(002)峰的强度逐渐增强,同时(002)峰的半高宽逐渐减小,表明晶粒在不断增大.未退火样品的光致发光(PL)谱由361 nm附近的紫外带边发射峰和500 nm附近的深能级发射峰组成.样品经退火后,以500 nm为中心的绿带发射逐渐减弱,而带边发射强度有所增强,并且逐渐红移到366 nm附近,与吸收边移动的测试结果相吻合.对经过不同时间退火的样品分析表明,AZO薄膜的发光特性与退火时间也有很大关系,时间过短可见波段的发射较强,但时间过长会使晶粒发生团聚,导致紫外发射峰强度减弱.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	祖小涛	电子科技大学物理电子学院	111	627	12.0	17.0
2	邓宏	电子科技大学微电子与固体电子学院	72	653	14.0	22.0
3	李燕	电子科技大学微电子与固体电子学院	29	259	9.0	15.0
4	谢娟	电子科技大学微电子与固体电子学院	10	90	5.0	9.0
5	徐自强	电子科技大学电子科学研究院	31	155	7.0	11.0
9	薛书文	电子科技大学物理电子学院	10	80	5.0	8.0
10	陈航	电子科技大学微电子与固体电子学院	5	47	3.0	5.0