退火条件对ZnO薄膜结构和光学性能的影响

• 作者: 李金华 范利宁 袁宁一
• 来源期刊: 江苏工业学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO薄膜 溶胶-凝胶法 光学性能 退火温度
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 页码范围: 4-6
• 页数: 3页
• 分类号: TB43|O552.6
• 字数: 1868字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-0411.2007.02.002

摘要

采用溶胶-凝胶法在单晶硅Si(100)衬底上制备了ZnO薄膜,研究了退火温度对ZnO结构和光学性能的影响.实验发现,退火可以明显地改善ZnO薄膜的结构和光学性能.随着退火温度的升高,ZnO薄膜的晶粒增大,同时在室温下观察到明显的紫外发光现象,其紫外PL谱峰值变强,并有红移现象.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李金华	江苏工业学院功能材料实验室	33	277	9.0	15.0
2	袁宁一	江苏工业学院功能材料实验室	26	154	8.0	10.0
3	范利宁	江苏工业学院功能材料实验室	4	30	3.0	4.0