椭偏仪的原理和应用

• 作者: 余平 张晋敏
• 来源期刊: 合肥学院学报：自然科学版
• 学科: 物理学
• 关键词: 椭偏仪 光学参数 薄膜 偏振Drude模型
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 页码范围: 87-90
• 页数: 4页
• 分类号: O433.1

摘要

椭偏术是一种利用线偏振光经样品反射后转变为椭圆偏振光这一性质以获得样品的光学常数的光谱测量方法．椭偏仪主要用来测量薄膜材料或块体材料的光学参数和厚度的仪器．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张晋敏	贵州大学计算机科学与工程学院	47	261	7.0	15.0
2	余平	贵州大学计算机科学与工程学院	10	145	3.0	10.0