磁控溅射类石墨镀层的微观组织观察与分析

• 作者: 尹清军 张国君 蒋百灵 陈迪春
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 非平衡磁控溅射 类石墨镀层 微观组织 非晶
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 42-46
• 页数: 5页
• 分类号: TB43
• 字数: 3034字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1007-9289.2007.02.009

摘要

利用非平衡磁控溅射系统制备了含微量Cr 的类石墨镀层,使用四点探针法测量所制备镀层的电阻率,测试结果表明所制备镀层工作层为类石墨层.使用SEM观察了镀层形貌,使用TEM及HRTEM观察了镀层的微观组织并利用选区电子衍射分析了镀层相结构,观察和分析结果表明:镀层表面质量良好,镀层的纯Cr金属底层为柱状晶结构,过渡层的晶体结构为非晶相中嵌有Cr纳米晶结构;工作层为非晶结构.测定了镀层的硬度、结合力,以及在不同载荷下的摩擦因数和比磨损率,测试结果表明:所制备镀层具有高硬度、高结合力、低摩擦因数和低比磨损率,且高载下比低载下有更低的摩擦因数.分析和讨论的结果还表明:工作层的非晶结构,是使所研究镀层具有高硬度、高结合力、低摩擦因数、低磨损率低的主要原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋百灵	西安理工大学材料科学与工程学院	241	5240	40.0	64.0
2	张国君	西安理工大学材料科学与工程学院	35	220	8.0	14.0
3	陈迪春	西安理工大学材料科学与工程学院	15	95	5.0	9.0
4	尹清军	西安理工大学材料科学与工程学院	1	8	1.0	1.0