磁控溅射CrAlTiN镀层的微观结构研究

• 作者: 吴文文 蒋百灵 陈迪春
• 来源期刊: 西安理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 微结构 CrAlTiN镀层 XPS HRTEM
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 398-402
• 分类号: TG174.2
• 字数: 3396字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-4710.2010.04.005

摘要

使用X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)和高分辨透射电子显微镜(HRTEM)对磁控溅射CrAlTiN镀层的相组成、化学态和截面微观结构进行了综合分析.分析结果表明,CrAlTiN镀层具有明显的纳米多层结构,多层膜的周期为4.9nm.CrAlTiN镀层是由多种物相组成的复合镀层,以CrN型金属氮化物为主体,同时含有少量的Cr、Al金属单质以及M2O3(Al2O3,Cr2O3和Ti2O3)型金属氧化物,镀层生长时Al、Ti金属原子取代CrN晶格中的Cr原子形成CrN型金属氮化物.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋百灵	西安理工大学材料科学与工程学院	241	5240	40.0	64.0
2	陈迪春	西安理工大学材料科学与工程学院	15	95	5.0	9.0
3	吴文文	西安理工大学材料科学与工程学院	3	18	3.0	3.0