氧离子束辅助沉积氧化铪薄膜的激光损伤阈值研究

• 作者: 吕玮阁 张大伟 范正修 邵建达
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 物理学
• 关键词: 离子束辅助沉积 氧化铪 激光损伤阈值 微弱吸收
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 实验装置与技术
• 页码范围: 31-32
• 页数: 2页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2559字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2007.03.015

摘要

电子枪蒸发制备了氧化铪薄膜,对氧离子束辅助和未辅助两种情况下的样品进行了折射率、吸收、激光损伤阈值等属性的测试,结果表明,氧离子束辅助沉积的样品与未辅助沉积的样品相比具有高的折射率和高的吸收,以及稍低的激光损伤阈值.经过分析发现,薄膜的激光损伤阈值是影响薄膜抗激光特性的不利因素和有利因素竞争的结果,离子束辅助沉积技术在引入结构致密等有利因素的同时,也引入了吸收增加等不利因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邵建达	中国科学院上海光学精密机械研究所	212	2131	21.0	29.0
2	张大伟	上海理工大学光学与电子工程学院	117	391	11.0	15.0
3	范正修	中国科学院上海光学精密机械研究所	203	2312	23.0	32.0
4	吕玮阁	上海理工大学光学与电子工程学院	6	15	3.0	3.0